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61125车床厂家为您解析5米CW61125重型车床微制造技术

时间:2019-06-22 09:07 来源:http://www.tztxkj.cn 作者:车床

5米CW61125重型车床微制造技术。目前5米CW61125重型车床厂家常用于微机电系统方面的微制造技术（Micromanufacturing）可分为对硅基材料以及非硅基材料的微加工，基本上又可分为四类：（1）5米CW61125重型车床刻蚀技术。5米CW61125重型车床技术利用干刻蚀法、湿刻蚀法或光刻蚀法对5米CW61125重型车床厂家加工材料进行等向或非等向刻蚀去除加工，通常可对5米CW61125重型车床厂家加工材料进行体形微加工（bulk micromachining）或5米CW61125重型车床表面微加工（surface micromachining）。5米CW61125重型车床刻蚀技术的优点是加工精度高，且5米CW61125重型车床有大批量生产能力，可与IC制造相容，技术已较成熟；缺点是5米CW61125重型车床厂家加工材料固定、5米CW61125重型车床加工速度慢、刻蚀剂危险性高、所用设备资金投入大，且对5米CW61125重型车床厂家加工环境要求高等。（2）5米CW61125重型车床薄膜技术。该技术主要用薄膜成长技术和5米CW61125重型车床刻蚀技术加工所需的微结构，一般5米CW61125重型车床厂家可用于2D表面微加工，主要应用在VLSI方面的微元件制造。5米CW61125重型车床薄膜技术除了技术已较成熟、极佳的IC相容性，不需要特别的组装技术就可以大量生产5米CW61125车床微元件外，其缺点与刻蚀技术相同。

5米CW61125重型车床厂家采用LIGA技术。该技术结合了5米CW61125重型车床X-Ray深刻技术（Deep X-Ray lithography）、5米CW61125重型车床微电铸翻模（Micro electroforming）及5米CW61125重型车床微成形（Micro molding）等技术，5米CW61125重型车床微加工制造技术除具有精度高、5米CW61125重型车床表面粗糙度好、5米CW61125重型车床IC电路相容性佳、5米CW61125重型车床可批量生产的优点外，LIGA技术比IC制造技术能加工更为多种的材料以及具有更佳的高深宽比3D微结构制造能力。然而，LIGA技术最大的缺点是制造所需的同步辐射X光费用极为昂贵，此外5米CW61125重型车床的制作成本与时间的耗费也很高，因此在亚微米（submicron）尺度的微结构中已有利用价格较为便宜的类LIGA技术来取代X光的刻蚀，例如5米CW61125重型车床厂家利用替代性光源的紫外光微影、准分子激光加工以及反应式离子刻蚀（reactive ion etching，RIE）等技术，这些替代性技术的加工精度虽然没有LIGA技术高，但5米CW61125重型车床光源设备小、价格亦较为便宜。