立式铣床锗和硅是最常用的元素半导体；化合物半导体包括Ⅲ-Ⅴ族化合物（砷化镓、磷化镓等）、卧式铣床的Ⅱ-Ⅵ族化合物( 硫化镉、硫化锌等)、立式铣床的氧化物(锰、铬、铁、铜的氧化物),卧式铣床以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物组成的固溶体（镓铝砷、镓砷磷等）。立式铣床除上述晶态半导体外，还有卧式铣床非晶态的玻璃半导体、有机半导体等。