粗抛形成的表层损伤是次要的考虑，不过X63W卧式铣床也应当尽可能小；其次是精抛(或称终抛)，铣床X53K其目的是去除粗抛产生的表层损伤，X63W卧式铣床使抛光损伤减到最小。磨光机抛光时，铣床X53K试样磨面与抛光盘应绝对平行并均匀地轻压在抛光盘上，X63W卧式铣床注意防止试样飞出和因压力太大而产生新磨痕。铣床X53K还应使试样自转并沿转盘半径方向来回移动。